Design, preparation and characterization of a double-ended symmetric MEMS thermopile with adiabatic grooves

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标题	Design, preparation and characterization of a double-ended symmetric MEMS thermopile with adiabatic grooves 具有绝热槽的双端对称MEMS热电堆的设计、制备与表征相关领域热电堆热电偶微电子机械系统响应度材料科学绝热过程光电子学欧姆接触红外线的响应时间光学计算机科学光电探测器纳米技术物理复合材料图层（电子）计算机图形学（图像）热力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.infrared.2022.104078
DOI	10.1016/j.infrared.2022.104078 doi
其它	期刊：Infrared Physics & Technology 作者：Yihao Guan; Cheng Lei; Ting Liang; Yuehang Bai; Wu Xuezhan; et al 出版日期：2022-02-01
求助人	舒心绝义在 2025-04-18 09:01:33 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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