Silicon gas flow sensors using industrial CMOS and bipolar IC technology - 科研通

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标题	Silicon gas flow sensors using industrial CMOS and bipolar IC technology 采用工业CMOS和双极IC技术的硅气体流量传感器相关领域热电堆 CMOS芯片硅材料科学表面微加工灵敏度（控制系统）悬臂梁光电子学热电效应体微机械加工电压梁（结构）电气工程电子工程制作工程类光学物理复合材料病理红外线的热力学替代医学医学
网址	https://doi.org/10.1016/0924-4247(91)87054-7
DOI	10.1016/0924-4247(91)87054-7 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：David Moser; R. Lenggenhager; H. Baltes 出版日期：1991-05-01
求助人	lll 在 2025-04-02 21:47:06 发布自上海，悬赏 10 积分
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