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 Surface Chemical Treatment for the Cleaning of AlN and GaN Surfaces 用于清洁AlN和GaN表面的表面化学处理
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：K. N. Lee; S. M. Donovan; F. Ren; M. E. Overberg; J. D. MacKenzie; et al 出版日期：2000-01-01 |
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