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标题
Fluorine Etching in Porous Silicon: An Ab-Initio Molecular Dynamics Study
多孔硅中氟腐蚀的从头算分子动力学研究
相关领域
材料科学 多孔硅 蚀刻(微加工) 分子动力学 化学物理 Atom(片上系统) 密度泛函理论 多孔性 从头算 物理化学 计算化学 纳米技术 光电子学 复合材料 冶金 化学 有机化学 嵌入式系统 图层(电子) 计算机科学
网址
DOI
10.1149/2.0301704jss doi
其它 期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者:Marisol R. Arcos; Chumín Wang
出版日期:2017-01-01
求助人
敏感的曼香 在 2024-04-08 20:48:19 发布自山东,悬赏 10 积分
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