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标题
Roll-to-roll atomic layer deposition process for flexible electronics encapsulation applications
用于柔性电子封装应用的卷对卷原子层沉积工艺
相关领域
聚萘二甲酸乙二醇酯 原子层沉积 材料科学 基质（水族馆） 卷到卷处理 纳米技术 光电子学 薄膜 图层（电子） 海洋学 地质学
网址
https://doi.org/10.1116/1.4893428
DOI
10.1116/1.4893428 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Philipp Maydannik; Tommi Kääriäinen; Kimmo Lahtinen; David Cameron; Mikko Söderlund; et al
出版日期：2014-08-19
求助人
咋还 在 2025-05-29 14:20:40 发布自江苏，悬赏 10 积分
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