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 Residual Stress Chevron Preloading Amplifier for Large-Stroke Stiffness Reduction of Silicon Flexure Mechanisms 硅弯曲机构大行程刚度降低的残余应力人字形预加载放大器
相关领域
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残余应力
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Loïc Tissot-Daguette; Florent Cosandier; Quentin Gubler; Yves Pétremand; M. Despont; et al 出版日期：2024-12-19 |
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星辰大海
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