标题 |
Study on properties of silicon nitride film prepared by PECVD for solar cells
PECVD法制备太阳能电池用氮化硅薄膜的性能研究
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
氮化硅
钝化
材料科学
薄脆饼
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其它 |
期刊:Applied chemical engineering 作者:Ziyou Zhou; Xingju Cai; Wenfeng Liu 出版日期:2021-11-03 |
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