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标题
Short pulse-enhanced vacuum arc evaporation
短脉冲增强真空电弧蒸发
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网址
DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111459 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:В.О. Оскирко; I.M. Goncharenko; S.I. Arestov; V. A. Semenov; M.I. Azhgikhin; et al
出版日期:2022-08-30
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