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  Evaluation of Adhesion Behavior by Scratch Test for TiN Films by Ion Plating 用划痕试验评价离子镀TiN薄膜的附着性能
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期刊：Journal of The Surface Finishing Society of Japan 作者：Toshiki Ohnaka; Mitsuji Hirohashi 出版日期：1994-01-01 |
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