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 Two-regime property dependence on plasma power of plasma-enhanced atomic layer-deposited In2O3 thin films and underlying mechanism 等离子体增强原子层沉积In2O3薄膜的两态性质对等离子体功率的依赖及其机理
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期刊：Vacuum 作者：Zhi-Xuan Zhang; Ming-Jie Zhao; Wan-Yu Wu; Dong‐Sing Wuu; Peng Gao; et al 出版日期：2023-07-17 |
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