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  Atomic layer deposition of MoNx thin films using a newly synthesized liquid Mo precursor 相关领域
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Byunguk Kim; Sangmin Lee; Taesung Kang; Sung‐Hoon Kim; Sang‐Man Koo; et al 出版日期：2022-11-15 |
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(2025-6-4)
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