Development of an inorganic photoresist for DUV, EUV, and electron beam imaging

已完结

文献求助详情

标题	Development of an inorganic photoresist for DUV, EUV, and electron beam imaging 用于DUV、EUV和电子束成像的无机光刻胶的研制相关领域抵抗光刻胶材料科学电子束光刻光刻纳米技术光电子学平版印刷术高折射率聚合物纳米颗粒极紫外光刻纳米复合材料表面粗糙度光学图层（电子）复合材料物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.846672
DOI	10.1117/12.846672 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE 作者：Markos Trikeriotis; Woo Jin Bae; Eric M. Schwartz; Marie Krysak; Neal Lafferty; et al 出版日期：2010-03-11
求助人	清清在 2024-03-19 15:52:59 发布自福建，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

活动

『应助活动周』获奖名单已公布 🔥 (2025-4-2)

更新

『中科院2025期刊分区』已更新 (2025-3-23)

更新

『即时热点』模块已上线 (2025-2-28)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 香蕉觅云上传了应助文件

1秒前; 狂野凝竹完成签到，获得积分10

2秒前; upsoar发布了新的文献求助10

3秒前; SciGPT的应助被sun采纳，获得10

5秒前; 杨。。完成签到，获得积分10

7秒前; 狂野凝竹发布了新的文献求助10

7秒前; 打喷嚏的猪完成签到，获得积分10

8秒前; Coffee完成签到，获得积分10

8秒前; sun完成签到，获得积分10

15秒前; SciGPT上传了应助文件

16秒前; 我是老大上传了应助文件

21秒前; 矮小的珠发布了新的文献求助10

22秒前; sun发布了新的文献求助10

23秒前; 完美世界上传了应助文件

23秒前; mtt发布了新的文献求助10

26秒前; 共享精神上传了应助文件

27秒前; 绝尘发布了新的文献求助10

28秒前; 大憨憨完成签到，获得积分10

29秒前; 义气如萱发布了新的文献求助10

31秒前; Eve完成签到，获得积分20

32秒前; 张青岳完成签到，获得积分10

32秒前; mtt完成签到，获得积分10

33秒前; 含糊的泥猴桃完成签到，获得积分10

35秒前; 非哲完成签到，获得积分10

36秒前; just_cook完成签到，获得积分10

37秒前; CYY发布了新的文献求助10

40秒前; 顾矜的应助被义气如萱采纳，获得10

44秒前; 黄迪迪完成签到，获得积分10

45秒前; 小林同学0219完成签到，获得积分10

51秒前; 123完成签到，获得积分10

51秒前; 欢呼妙菱完成签到，获得积分10

55秒前; 劉平果完成签到，获得积分10

57秒前; 黯然完成签到，获得积分10

1分钟前; 归尘的应助被Eve采纳，获得10

1分钟前; Xiaoxiao的应助被Eve采纳，获得10

1分钟前; Singularity的应助被Eve采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

1分钟前; 矮小的珠完成签到，获得积分10

1分钟前; 谷子完成签到，获得积分10

1分钟前; 李健的小迷弟的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前