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 Abnormal Silicon Etching Behaviors in Nanometer-Sized Channels 纳米沟道中硅的异常刻蚀行为
相关领域
蚀刻（微加工）
硅
纳米技术
四甲基氢氧化铵
材料科学
制作
纳米尺度
纳米
各向同性腐蚀
润湿
半导体
透射电子显微镜
高分辨率透射电子显微镜
限制
图层（电子）
光电子学
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医学
机械工程
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病理
工程类
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期刊：Nano Letters 作者：Kunmo Koo; Joon Ha Chang; Sanghyeon Ji; Hyuk Choi; Chong-Min Kyung; et al 出版日期：2024-04-01 |
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