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 Ultra-high growth rate of boron-doped diamond films with optimized growth parameters using in-liquid microwave plasma CVD 优化生长参数的液内微波等离子体CVD超高速生长硼掺杂金刚石薄膜
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Yusuke Tominaga; Y.M. Hunge; Nobuhiko Kubota; Naoya Ishida; Susumu Sato; et al 出版日期：2023-12-01 |
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