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Development of an autofocusing system using an electrically tunable lens in large area holographic lithography
大面积全息光刻中电可调透镜自动聚焦系统的研制
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期刊:Applied Optics 作者:Rui Hou; Jia Yu; Yanyan Huang; Huaheng Ke; Huiping Liu 出版日期:2020-03-10 |
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