标题 |
A Sc$_{\text{0.096}}$Al$_{\text{0.904}}$N-Based Bimorph Piezoelectric MEMS Microphone Using 3 $\times$ 3 Circular Diaphragms
一种基于Sc$_{\text{0.096}}$Al$_{\text{0.904}}$N的双晶片压电MEMS传声器,采用3$×$3圆振膜
相关领域
双晶片
微电子机械系统
压电
话筒
声学
计算机科学
电气工程
材料科学
物理
工程类
光电子学
声压
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其它 |
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Bohao Hu; Wenjuan Liu; Yan Liu; Chaoxiang Yang; Zekai Wang; et al 出版日期:2024-03-20 |
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