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 Elucidating the patterning mechanism of zirconium-based hybrid photoresists 阐明锆基杂化光刻胶的图案化机理
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期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems 作者：Vasiliki Kosma; Kazuki Kasahara; Hong Xu; Jérémy Odent; Christopher K. Ober; et al 出版日期：2017-09-27 |
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