Design of a Square MEMS Piezoelectric Accelerometer With a Wide Range of Applicability, a Low Transverse Sensitivity Ratio, and High Accuracy - 科研通

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标题	Design of a Square MEMS Piezoelectric Accelerometer With a Wide Range of Applicability, a Low Transverse Sensitivity Ratio, and High Accuracy 一种适用范围广、横向灵敏度比低、精度高的方形MEMS压电加速度计的设计相关领域加速度计灵敏度（控制系统）横截面微电子机械系统声学压电加速度计平方（代数）振动低频压电横模航程（航空）电子工程材料科学工程类压电传感器计算机科学物理光学光电子学结构工程数学电信复合材料操作系统几何学激光器
网址	https://doi.org/10.1109/jsen.2022.3161671
DOI	10.1109/jsen.2022.3161671 doi
其它	期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Cheng-Ying Li; Yueh-Han Chen; Zhiyuan Wei; Yi-Chen Ho; Sheng‐Yuan Chu; et al 出版日期：2022-05-15
求助人	xinxin 在 2024-09-01 17:07:31 发布自上海，悬赏 10 积分
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