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标题
Improving the Lithography Sensitivity of Atomically Precise Tin‐Oxo Nanoclusters via Heterometal Strategy
通过异质金属策略提高原子级精确锡氧代纳米团簇的光刻灵敏度
相关领域
材料科学 极紫外光刻 平版印刷术 纳米光刻 纳米技术 掺杂剂 纳米团簇 下一代光刻 光电子学 抵抗 电子束光刻 兴奋剂 冶金 医学 替代医学 病理 制作 图层(电子)
网址
DOI
10.1002/anie.202414360 doi
其它 期刊:Angewandte Chemie International Edition
作者:Weizhou Chen; Liming Wang; Zirui Wang; Tao Zhu; Yuting Ye; et al
出版日期:2024-10-02
求助人
小王 在 2025-11-28 17:35:26 发布自陕西,悬赏 10 积分
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