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 Modulation of microstructure and optical properties of anti-reflection HfO2 films by sputtering power and O2/Ar flow ratio 溅射功率和O2/Ar流量比对HfO2薄膜微结构和光学性能的影响
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期刊：Applied physics. B, Lasers and optics 作者：Yirong Wu; Jingxia Yu; Liang Yang; Wei Wu; Xiangyu Wang; et al 出版日期：2023-10-11 |
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