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 Superhard Ti–Si–N coatings by a hybrid system of arc ion plating and sputtering techniques 电弧离子镀和溅射混合体系制备Ti-Si-N超硬涂层
相关领域
材料科学
离子镀
锡
涂层
溅射
无定形固体
图层（电子）
冶金
复合材料
微晶
氮化钛
溅射沉积
氮化物
薄膜
纳米技术
结晶学
化学
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Kwang Ho Kim; Sung-ryong Choi; Soon-young Yoon 出版日期：2002-11-05 |
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