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Structural and XPS characterization of ALD Al2O3 coated porous silicon ALD Al2O3包覆多孔硅的结构和XPS表征
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期刊:Vacuum 作者:Igor Iatsunskyi; Mateusz Kempiǹski; Mariusz Jancelewicz; Karol Załęski; Stefan Jurga; et al 出版日期:2014-12-24 |
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