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High Rate Deposition of Piezoelectric AlScN Films by Reactive Magnetron Sputtering from AlSc Alloy Targets on Large Area
反应磁控溅射AlSc合金靶大面积高速沉积AlScN压电薄膜
相关领域
材料科学 半最大全宽 溅射沉积 薄膜 压电 溅射 脉冲激光沉积 涂层 复合材料 分析化学（期刊） 光电子学 光学 纳米技术 色谱法 物理 化学
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/13/10/1561/pdf?version=166374...
DOI
10.3390/mi13101561 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：S. Barth; Tom Schreiber; S. Cornelius; O. Zywitzki; Thomas Modes; et al
出版日期：2022-09-21
求助人
yinghan 在 2025-12-26 16:11:51 发布自广东，悬赏 10 积分
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