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标题
The effect of annealing treatment on microstructure and properties of TiN films prepared by unbalanced magnetron sputtering
退火处理对非平衡磁控溅射TiN薄膜组织和性能的影响
相关领域
材料科学 微观结构 退火（玻璃） 溅射沉积 锡 结晶度 表面粗糙度 粒度 扫描电子显微镜 薄膜 冶金 溅射 表面光洁度 复合材料 纳米技术
网址
https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2010.02.176
DOI
10.1016/j.jallcom.2010.02.176 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Yingxue Xi; Huiqing Fan; Weiguo Liu
出版日期：2010-03-08
求助人
ZZQ 在 2025-06-29 22:12:06 发布自亚太地区，悬赏 10 积分
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