Research progress on porous low dielectric constant materials

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标题	Research progress on porous low dielectric constant materials 多孔低介电常数材料的研究进展相关领域材料科学电介质多孔性电容介电常数低介电常数多孔介质纳米技术多孔硅高-κ电介质消散集成电路光电子学工程物理电子工程复合材料电极热力学物理工程类物理化学化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2021.106320
DOI	10.1016/j.mssp.2021.106320 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Xian Meng; Menglu Li; Quan Sun; Wenhui Fan; Shuang Xia; et al 出版日期：2022-03-01
求助人	冷艳的心锁在 2024-04-29 20:12:05 发布自江苏，悬赏 10 积分
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