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 Improvements in the imaging performance of a high volume manufacturing EUV scanner with a special emphasis on the added value of the new illuminator for increased pupil flexibility 改进大批量制造的EUV扫描仪的成像性能，特别强调新照明器的附加值，以增加瞳孔的灵活性
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期刊： 作者：Bartosz Bilski; Ziyang Wang; Friso Wittebrood; John McNamara; Dorothe Oorschot; et al 出版日期：2017-09-28 |
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