Analysis and modelling of the impact of plasma RF harmonics in semiconductor plasma processing

已完结

文献求助详情

标题	[高分] 学位论文 Analysis and modelling of the impact of plasma RF harmonics in semiconductor plasma processing 半导体等离子体加工中等离子体射频谐波影响的分析与建模相关领域反应离子刻蚀容性耦合等离子体谐波等离子体处理等离子体材料科学光电子学等离子体参数计算物理学等离子体参数蚀刻（微加工）电气工程物理电压感应耦合等离子体工程类纳米技术图层（电子）量子力学
网址	http://doras.dcu.ie/18500/
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	期刊：作者：Nasim Ahmed Dewan 出版日期：2001-01-01
求助人	木子木在 2025-06-11 22:50:37 发布自中国，悬赏 50 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 研友_VZG7GZ上传了应助文件

10秒前; 共享精神的应助被Harrison采纳，获得10

14秒前; 轻松凌柏发布了新的文献求助10

14秒前; 浮游上传了应助文件

34秒前; 852的应助被koubi采纳，获得10

37秒前; 浮游上传了应助文件

39秒前; 善学以致用的应助被Harrison采纳，获得10

57秒前; 浮游的应助被mmm采纳，获得10

1分钟前; 852上传了应助文件

1分钟前; koubi发布了新的文献求助10

1分钟前; 打打的应助被ZoyaR采纳，获得10

1分钟前; 浮游上传了应助文件

1分钟前; koubi完成签到，获得积分10

1分钟前; 打打上传了应助文件

1分钟前; ZoyaR发布了新的文献求助10

1分钟前; 浮游上传了应助文件

1分钟前; mmm完成签到，获得积分10

1分钟前; 浮游上传了应助文件

2分钟前; ZoyaR完成签到，获得积分10

2分钟前; 共享精神的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 研友_R2D2发布了新的文献求助10

2分钟前; 浮游上传了应助文件

2分钟前; Orange上传了应助文件

2分钟前; 清风朗月发布了新的文献求助10

2分钟前; 浮游上传了应助文件

2分钟前; 善学以致用上传了应助文件

2分钟前; 斯文败类的应助被清风朗月采纳，获得10

3分钟前; Harrison发布了新的文献求助10

3分钟前; 李爱国的应助被轻松凌柏采纳，获得10

3分钟前; 浮游上传了应助文件

3分钟前; 俏皮的钻石完成签到，获得积分10

3分钟前; 轻松凌柏完成签到，获得积分10

3分钟前; 浮游上传了应助文件

4分钟前; 浮游的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 嘻嘻哈哈的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 浮游上传了应助文件

4分钟前; 浮游上传了应助文件

5分钟前; yeah完成签到，获得积分10

5分钟前; 浮游上传了应助文件

5分钟前; 田様的应助被whz采纳，获得10

5分钟前