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 An Optical MEMS Accelerometer Based on a Two-Dimensional Photonic Crystal Add-Drop Filter 基于二维光子晶体分插滤波器的光学MEMS加速度计
相关领域
微电子机械系统
谐振器
材料科学
加速度计
光学
测距
光学滤波器
光子学
光电子学
光子晶体
自由光谱范围
灵敏度（控制系统）
电子工程
物理
工程类
电信
量子力学
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期刊：Journal of Lightwave Technology 作者：Arash Sheikhaleh; Kambiz Abedi; Kian Jafari 出版日期：2017-05-18 |
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