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 Development and characterization of confocal sputtered piezoelectric zinc oxide thin film 共焦溅射压电氧化锌薄膜的研制与表征
相关领域
材料科学
溅射
薄膜
结晶度
压电
纳米压痕
压电系数
复合材料
溅射沉积
基质（水族馆）
光电子学
纳米技术
海洋学
地质学
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期刊：Vacuum 作者：Pallavi Sharma; Zeynel Güler; Nathan Jackson 出版日期：2020-11-21 |
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