标题 |
Design and simulation of a wide-range variable MEMS capacitor using electrostatic and piezoelectric actuators
采用静电和压电作动器的宽量程可变MEMS电容器的设计与仿真
相关领域
电容感应
执行机构
电容器
微电子机械系统
压电
材料科学
梳状致动器
可变电容器
声学
高频SS
光电子学
电气工程
工程类
电压
物理
复合材料
制作
病理
微带天线
医学
替代医学
天线(收音机)
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