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 Ultrathin silicon oxide prepared by in-line plasma-assisted N2O oxidation (PANO) and the application for n-type polysilicon passivated contact 在线等离子体辅助N2O氧化制备超薄氧化硅及其在n型多晶硅钝化触头中的应用
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化学
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期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Yuqing Huang; Mingdun Liao; Zhixue Wang; Xueqi Guo; Chun‐Sheng Jiang; et al 出版日期：2020-05-01 |
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