A design and manufacturing platform for AlScN based highly linear quasi-static MEMS mirrors with large optical apertures

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标题	A design and manufacturing platform for AlScN based highly linear quasi-static MEMS mirrors with large optical apertures 基于AlScN的大孔径高线性准静态MEMS反射镜的设计与制造平台相关领域微电子机械系统执行机构稳健性（进化）材料科学薄脆饼机械工程光圈（计算机存储器）计算机科学工程类光电子学电气工程生物化学基因化学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2583399
DOI	10.1117/12.2583399 doi
其它	期刊：作者：Shanshan Gu-Stoppel; Frank Senger; Lianzhi Wen; Erdem Yarar; Gunnar Wille; et al 出版日期：2021-03-04
求助人	Nefertari 在 2025-05-10 21:42:55 发布自重庆，悬赏 20 积分
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