标题 |
Air damping of microbeam resonators in a low vacuum
低真空下微束谐振腔的空气阻尼
相关领域
微束
谐振器
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其它 |
作者:Wenjing Ye; Hutcherson, S. 会议名称:TRANSDUCERS '05. The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers |
求助人 | |
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