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标题
Solvent Compatibility of Parylene C Film Layer
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DOI
10.1109/jmems.2013.2273032 doi
其它 期刊:Journal of Microelectromechanical Systems
作者:Hatice Ceylan Koydemir; Haluk Kulah; Canan Ozgen
出版日期:2013-07-23
求助人
lll6xz 在 2026-03-25 16:00:52 发布自江苏,悬赏 10 积分
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