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标题
Dose accuracy and doping uniformity of ion implantation equipment
离子注入设备的剂量精度和掺杂均匀性
相关领域
兴奋剂 离子注入 离子 材料科学 光电子学 计算机科学 物理 量子力学
网址
DOI
10.1016/0026-2714(81)90233-x doi
其它 期刊:Microelectronics Reliability
作者:
出版日期:1981-01-01
求助人
JINX 在 2024-09-04 14:11:49 发布自浙江,悬赏 10 积分
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