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Performance Enhancement of Ge/Si Avalanche Photodetector by Specific Sidewall Passivation Using Remote Oxygen Plasma Treatment
远程氧等离子体处理特殊侧壁钝化提高Ge/Si雪崩光电探测器性能
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钝化
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期刊:Journal of physics. D, Applied physics 作者:Donglin Huang; Ruoyun Ji; Liqiang Yao; Jinlong Jiao; Cheng Li; et al 出版日期:2024-04-30 |
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