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 Enhanced Damage Resistance of Mo/Si Multilayer Mirror with Carbon Barrier Layers under Intense Nanosecond EUV Irradiation 具有碳阻挡层的Mo/Si多层反射镜在强纳秒EUV辐照下的抗损伤性能
相关领域
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期刊：Nano Letters 作者：Cheolmin Yun; Shuhui Li; Youfan Hu; Xiangyue Liu; Zebing Hu; et al 出版日期：2025-04-17 |
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