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![]() 超大规模集成铜电沉积中孪晶形成和生长的原位观察
相关领域
材料科学
铜
退火(玻璃)
电子背散射衍射
晶体孪晶
冶金
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期刊:MRS Proceedings 作者:Heung Nam Han; HJ Lee; Do Hyun Kim; Ui-Hyoung Lee; Pil‐Ryung Cha; et al 出版日期:2006-01-01 |
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