Optimized actuation of resonant MEMS mirrors for laser beam scanning applications

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标题	Optimized actuation of resonant MEMS mirrors for laser beam scanning applications 用于激光束扫描的谐振MEMS反射镜的优化驱动相关领域光学微电子机械系统变形镜光圈（计算机存储器）计算机科学振幅执行机构物理声学自适应光学光电子学人工智能
网址	https://doi.org/10.1117/12.2607697
DOI	10.1117/12.2607697 doi
其它	期刊：作者：Davide Terzi; Lorenzo De Biasi; M. C. Boschi 出版日期：2022-03-02
求助人	轩辕乌在 2024-02-26 15:49:37 发布自陕西，悬赏 20 积分
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