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Removing W Polymer Residue from BEOL Structures Using DSP+ (Dilute Sulfuric-Peroxide-HF) Mixture – A Case Study
DSP+(稀硫酸——过氧化氢-HF)混合物去除BEOL结构中W聚合物残留物的研究
相关领域
材料科学
硫酸
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期刊:Solid State Phenomena 作者:Hun Hee Lee; Min Sang Yun; Hyun‐Wook Lee; Jin Goo Park 出版日期:2012-12-01 |
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