标题 |
Pushing the limits: latest developments in angle metrology for the inspection of ultra-precise synchrotron optics
挑战极限:超精密同步加速器光学检测用角度计量的最新进展
相关领域
计量学
光学
校准
X射线光学
极紫外光刻
计算机科学
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测量不确定度
物理
量子力学
X射线
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其它 |
期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者:Tanfer Yandayan; Ralf D. Geckeler; Frank Siewert 出版日期:2014-09-05 |
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