The Oxidation Process in Silicon Nitride

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标题	书籍（章节） The Oxidation Process in Silicon Nitride 氮化硅的氧化过程相关领域亚氧化物机车氮化硅材料科学氮化物硅碳化硅陶瓷氧化法化学工程纳米技术冶金工程类图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1007/978-94-011-1182-9_9
DOI	10.1007/978-94-011-1182-9_9 doi
其它	期刊：NATO Advanced Study Institutes series. Series E, Applied sciences 作者：Linus U. J. T. Ogbuji 出版日期：1994-01-01
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