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 AIN/Si Based SAW Resonators for Very High Sensitivity Temperature Sensors 用于非常高灵敏度温度传感器的AIN/Si基SAW谐振器
相关领域
低温恒温器
谐振器
声表面波
材料科学
灵敏度（控制系统）
光电子学
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温度测量
声学
声表面波传感器
传感器
电子工程
凝聚态物理
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原子物理学
工程类
超导电性
量子力学
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| 其它 |
期刊：2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) 作者：Alexandra Nicoloiu; Alexandru Muller; Ioana Zdru; Dan Vasilache; George E. Stan; et al 出版日期：2019-01-10 |
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