Influence of substrate bias and temperature on the crystallization of metallic NbTaTiVZr high-entropy alloy thin films

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标题	Influence of substrate bias and temperature on the crystallization of metallic NbTaTiVZr high-entropy alloy thin films 衬底偏压和温度对金属NbTaTiVZr高熵合金薄膜晶化的影响相关领域材料科学 X射线光电子能谱薄膜微晶结晶无定形固体偏压合金退火（玻璃）分析化学（期刊）高熵合金粒度化学工程复合材料冶金结晶学纳米技术化学电压工程类物理量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127357
DOI	10.1016/j.surfcoat.2021.127357 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Felipe Cemin; Saron Sales De Mello; Carlos A. Figueroa; F. Alvarez 出版日期：2021-05-28
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