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[高分] Effects of Plasma and Evaporated Atoms on the Spatial Distribution of Coating Film Thickness for Electron Beam-Induced Material Evaporation
等离子体和蒸发原子对电子束诱导材料蒸发镀膜厚度空间分布的影响
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网址
https://doi.org/10.1166/jno.2021.3007
DOI
10.1166/jno.2021.3007 doi
其它 期刊：Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics
作者：Huang Chong-lin; Dongkai Qiao; Ching-Yen Ho; Chang-Wei Xiong
出版日期：2021-05-01
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