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  Scalable Fabrication of Highly Organized, Horizontally Aligned Sub‐5 nm Silicon Nanowires via Chemical Vapor Etching 通过化学气相蚀刻可扩展地制备高度组织化、水平排列的亚5纳米硅纳米线
相关领域
制作
材料科学
蚀刻（微加工）
纳米技术
纳米线
硅纳米线
各向同性腐蚀
化学气相沉积
硅
可扩展性
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医学
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替代医学
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期刊：Small Science 作者：Juyeon Seo; Peiyun Feng; Jianlin Li; Sanghyun Hong; Sen Gao; et al 出版日期：2025-02-28 |
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