发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Extended Range Six-DOF High-Precision Positioner for Wafer Processing
用于晶圆加工的增程六自由度高精度定位器
相关领域
平面的 加速度 薄脆饼 数字信号处理 炸薯条 航程（航空） 物理 职位（财务） 控制器（灌溉） 控制理论（社会学） 跟踪（教育） 声学 计算机科学 工程类 电气工程 航空航天工程 人工智能 计算机图形学（图像） 控制（管理） 经济 农学 生物 经典力学 教育学 心理学 财务
网址
https://doi.org/10.1109/tmech.2006.886224
DOI
10.1109/tmech.2006.886224 doi
其它 期刊：IEEE/ASME Transactions on Mechatronics
作者：Tiejun Hu; Wonjong Kim
出版日期：2006-12-01
求助人
定亦 在 2025-05-31 21:37:54 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
科研通，让科研之路畅通无阻
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
科研通AI5的应助被Gwen采纳，获得30
刚刚
wwwww完成签到，获得积分10
1秒前
1秒前
向晚完成签到 ，获得积分10
3秒前
3秒前
震动的千萍完成签到，获得积分10
4秒前
小雨发布了新的文献求助10
4秒前
科研通AI5的应助被wwwww采纳，获得10
5秒前
lldbc发布了新的文献求助10
5秒前
忧郁忆枫关注了科研通微信公众号
5秒前
深情安青的应助被苗浩阳采纳，获得10
5秒前
6秒前
7秒前
科研通AI5的应助被lonely陈采纳，获得10
7秒前
科研通AI5的应助被qingzhou采纳，获得10
7秒前
8秒前
所所的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
ding的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
小明的应助被科研通管家采纳，获得20
9秒前
9秒前
共享精神的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
NexusExplorer的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
乐乐的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
传奇3的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
Akim的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
ysky完成签到 ，获得积分10
9秒前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
科研通AI5的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
wanci的应助被科研通管家采纳，获得10
9秒前
李健的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
隐形曼青的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
思源的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
orixero的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
小二郎的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
科研通AI5的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
小明的应助被科研通管家采纳，获得20
10秒前
科研通AI5的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
ding的应助被Flipped采纳，获得10
10秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Encyclopedia of Solid-Liquid Interfaces 600
A study of torsion fracture tests 510
Narrative Method and Narrative form in Masaccio's Tribute Money 500
Aircraft Engine Design, Third Edition 500
Neonatal and Pediatric ECMO Simulation Scenarios 500
苏州地下水中新污染物及其转化产物的非靶向筛查 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4751697
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4097027
关于积分的说明 12676236
捐赠科研通 3809682
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2103348
邀请新用户注册赠送积分活动 1128523
关于科研通互助平台的介绍 1005471
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通