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 Super-resolution spectral interference fitting method for the simultaneous measurement of the thin film thickness and surface profile 薄膜厚度和表面轮廓同时测量的超分辨光谱干涉拟合法
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期刊：Measurement Science and Technology 作者：Bozhang Dong; Wenping Guo; Kecheng Yang; H. Shen; Tanbin Shao; et al 出版日期：2024-04-10 |
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