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[高分]
 Investigation of Anisotropic Etching Characteristics of Si{110} in IPA-Added NH 4 OH Etchant for MEMS Applications 相关领域
材料科学
微电子机械系统
蚀刻（微加工）
微观结构
异丙醇
薄脆饼
遮罩（插图）
各向异性
氢氧化铵
光刻
复合材料
光电子学
表面微加工
各向同性腐蚀
沉积（地质）
纳米技术
平版印刷术
薄膜
干法蚀刻
反应离子刻蚀
化学工程
雕刻
航程（航空）
制作
分析化学（期刊）
光学显微镜
剥离（纤维）
水溶液
扫描电子显微镜
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期刊：IEEE Sensors Letters 作者：Priyanka Dewangan; Vishal Sahu; Prem Pal 出版日期：2026-02-19 |
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