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 Low temperature SiOx thin film deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for thin film encapsulation applications 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Young-Soo Lee; Ju-Hwan Han; Jin‐Seong Park; Jozeph Park 出版日期：2017-06-14 |
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